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技術(shù)支持

集成電路用超純水設(shè)備的工藝流程以及特點

來源:南京純水設(shè)備??????2021/6/1 10:06:27??????點擊:

南京純水設(shè)備】集成電路用超純水設(shè)備主要采用雙級反滲透+EDI連續(xù)電除鹽技術(shù)。前置預處理可有效去除原水中的膠體、懸浮物、余氯等雜質(zhì),通過雙級反滲透進一步提高水質(zhì),以延長EDI膜堆使用壽命。在用水點前采用氮封水箱,使產(chǎn)水水質(zhì)更加穩(wěn)定,電阻率能達到18 MΩ*cm(25℃)。

集成電路用超純水設(shè)備工藝流程:

原水→原水泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→軟水裝置→保安過濾器→一級高壓泵→一級反滲透→中間水箱→二級高壓泵→二級反滲透→EDI泵→EDI系統(tǒng)→拋光樹脂→氮封水箱→用水點南京超純水設(shè)備

集成電路用超純水設(shè)備的特點

1、EDI膜堆有連續(xù)運行性,離子交換和再生產(chǎn)同步,無需停機再生,無需酸堿儲運設(shè)備及計量設(shè)備等。

2、EDI采用連續(xù)電除鹽技術(shù),離子交換和再生是同步的,其水質(zhì)非常穩(wěn)定,

3、采用氮封水箱,可有效防止超純水與空氣接觸,進一步穩(wěn)定水質(zhì)。南京實驗室純水設(shè)備

4、操作簡單,只需要調(diào)節(jié)EDI模塊的電壓、電流,實現(xiàn)了全自動的控制。

5、EDI超純水設(shè)備占地小,設(shè)備安裝維修簡單便捷,自動化程度高,便于管理。南京反滲透純水設(shè)備 南京EDI純水處理設(shè)備